GB/T 1920-1980
废止
T/ZGM 014-2023
现行
团体标准
T/ZGM 014-2023 半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求
T/ZGM 014-2023 Certification Technical Requirements for Air-stripping Module Product for Ultra-pure Water Production in Semiconductor Industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZGM 014-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
分离机械
国际标准分类名称:
地质学、气象学、水文学
发布日期:
2023-10-11
实施日期:
2023-10-18
归口单位:
中国膜工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体行业超纯水制备用脱气膜元件认证的技术要求、试验方法。本标准适用于半导体行业超纯水制备用脱气膜元件。规范了脱气膜产品的尺寸、性能、材质、洁净度要求及试验方法
研制信息
起草单位:
杭州科百特过滤器材有限公司、江苏中电创新环境科技有限公司、华东理工大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、江苏泷膜环境科技有限公司、江苏爱科膜高科技有限公司、黄河水利职业技术学院
起草人:
贾建东、周伟、程亮、殷梓卿、沈涓、程杨明、陈星、张宏杰、张优慰、彭美华、魏永明