GB/T 13259-1991
被代替
T/JSQA 127-2022
现行
团体标准
T/JSQA 127-2022 光刻机用超高压短弧曝光光源
T/JSQA 127-2022 Scanning exposure using ultra-high-pressure short-arc exposure light source
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/JSQA 127-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电工
国际标准分类名称:
荧光灯、放电灯
发布日期:
2022-03-03
实施日期:
2022-03-03
归口单位:
江苏省质量协会
适用范围
范围:本文件规定了光刻机用超高压短弧曝光光源的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于光刻机用超高压短弧曝光光源，其他相应类型的超高压短弧曝光光源也可参照执行; 主要技术内容:分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名；技术要求：外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能
研制信息
起草单位:
常州玉宇电光器件有限公司、常州检验检测标准认证研究院、深圳市合丰嘉大科技有限公司、杭州汉光照明有限公司
起草人:
徐琴玉、殷尧平、李臻、陈海东、吴永强、杨宇华、李鑫、王燕