GB/T 5295-1985
被代替
T/SZBX 178-2024
现行
团体标准
T/SZBX 178-2024 激光直写光刻设备
T/SZBX 178-2024 Laser direct writing lithography equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SZBX 178-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子元器件与信息技术
国际标准分类名称:
光电子学、激光设备
发布日期:
2024-07-29
实施日期:
2024-07-30
归口单位:
苏州市标准化协会
适用范围
范围:本文件适用于单面PCB板制造等场景用的激光直写光刻设备(以下简称光刻设备); 主要技术内容:本文件规定了激光直写光刻设备的分类与编码/构成、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存
研制信息
起草单位:
本文件起草单位：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司、源能智创（江苏）半导体有限公司、中国质量认证中心有限公司、苏州市质量和标准化院
起草人:
本文件主要起草人：张雷、朱亮、高安、刘栋、惠志婷、马贝贝