GB/T 4855-1984
废止
T/QGCML 743-2023
现行
团体标准
T/QGCML 743-2023 半导体设备零部件阳极氧化工艺规范
T/QGCML 743-2023 Semiconductor equipment component anodizing process specification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 743-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2023-04-17
实施日期:
2023-04-30
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的术语与定义、技术要求、阳极氧化工艺方法。本标准适用于半导体设备零部件的阳极氧化工艺
研制信息
起草单位:
帝京半导体科技（苏州）有限公司、中国科学院微电子研究所、中科九微科技有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、江苏鲁汶仪器有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
起草人:
黎纠、袁林锋、郁忠杰、屈芙蓉、王若愚、胡冬冬、孙阳