GB/T 2413-1981
现行
GB/T 31469-2015
现行
国家标准
GB/T 31469-2015 半导体材料切削液
GB/T 31469-2015 Semiconductor materials cutting fluid
基本信息
标准编号:
GB/T 31469-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
电子技术专用材料
发布日期:
2015-05-15
实施日期:
2016-01-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
研制信息
起草单位:
扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
缪德俊、徐蓉艳、缪立山、彭新玲、丁浩、郭倩、蒲学军、王香
引用标准
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