GB/T 4855-1984
废止
T/EDASQUARE 005-2023
现行
团体标准
T/EDASQUARE 005-2023 晶圆级电性参数测试数据格式
T/EDASQUARE 005-2023 Wafer-level electrical parameter testing data format
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/EDASQUARE 005-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2023-09-10
实施日期:
2023-09-10
归口单位:
上海电子设计自动化发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体集成电路制造中的参数电性测试数据文件，并且对文件中的数据格式、数据框架结构、数据类型、数据项设置做了定义，适用于制造类电子自动化设计软件中所涉及的参数电性测试数据。主要内容包括：数据文件的语法，框架结构，数据文件格式包括数据开头、版本信息、数据类型、应用类型、用户信息、产品信息、产品批次信息、测试环境信息、模型信息、工作模式信息、设备信息、探测信息、位置信息、结构几何信息、测试信息、参数信息、安全信息、完整性校验信息、测试数据内容、单测试项的统计信息、整体测试总统计信息，应用需求，数据文件的形式等内容
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子研究所、杭州广立微电子股份有限公司、概伦电子股份有限公司、深圳海思半导体有限公司、墨研计算科学(南京)有限公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、全芯智造技术有限公司、中国电子工业标准化技术协会、鸿之微科技(上海)股份有限公司、北京大学信息技术高等研究院
起草人:
陈岚、陈弼梅、李淼、王博、沈忱、张锋、周永星、赵永林、菅端端、曹宇、肖韩、邵康鹏、章英杰、姚林、王亚丽、孟晓东、刘云举、陆梅君、王自强、石凯、张薇、刘舒宁、靳小利、董哲、孙忠、薛景星、温松辑、刘晓明、彭涛、曹荣根、陈容