DZ/T 0101.12-1994
现行
SJ 21257-2018
现行
行业标准-电子
SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范
SJ 21257-2018 General specification for ion beam film sputtering equipment
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ 21257-2018
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2018-01-18
实施日期:
2018-05-01
归口单位:
工业和信息化部电子第四研究院
页数:
16 页
适用范围
本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。 本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人:
胡凡、陈特超、刘欣、龙长林
引用标准
GB 2894-1996 安全标志
GB 2894-2008 安全标志及其使用导则
GB/T 191-2000 包装储运图示标志
GB/T 191-2008 包装储运图示标志
GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级
GJB 1182-1991
GJB 151B-2013
GJB 1653
GB 2894-2025 安全色和安全标志
GB/T 191-2025 包装储运图形符号标志