GB/T 4855-1984
废止
T/EDASQUARE 010-2024
现行
团体标准
T/EDASQUARE 010-2024 光源-掩模联合优化数据输入格式规范
T/EDASQUARE 010-2024
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/EDASQUARE 010-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2024-09-21
实施日期:
2024-09-22
归口单位:
上海电子设计自动化发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件规范了光源-掩模联合优化数据输入格式的数据结构。本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自28nm技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次
研制信息
起草单位:
广东工业大学、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、 墨研计算科学（南京）有限公司、中国科学院微电子所研究院、深圳市海思半导体有限公司
起草人:
沈逸江、孟晓东、施伟杰、沈忱、崔绍春、陈岚、陈容、董哲、张薇、林薇、 刘云举、刘娅琳、王亚丽