GB/T 4855-1984
废止
T/CSTM 00537-2021
现行
团体标准
T/CSTM 00537-2021 微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法
T/CSTM 00537-2021 Micro-nano thin film phase change temperature testing and light power analysis method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CSTM 00537-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子元器件与信息技术
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2021-05-11
实施日期:
2021-08-11
归口单位:
中关村材料试验技术联盟
适用范围
范围:本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。 本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行; 主要技术内容:本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行
研制信息
起草单位:
华中科技大学、中国计量科学研究院、武汉嘉仪通科技有限公司、深圳中国计量科学研究院技术创新研究院、暨南大学、中国计量大学、成都理工大学、广西大学
起草人:
缪向水、任玲玲、童浩、李硕、王愿兵、蔡自彪、金森林、乐松、王建峰、张景基、李小平、龙剑平、陶小马、余志高