GB/T 16786-1997
被代替
T/ICMTIA ESG0022-2022
现行
团体标准
T/ICMTIA ESG0022-2022 电子工业混合气体的制备 称量法
T/ICMTIA ESG0022-2022 Electronic industry preparation of mixed gas by weighing method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA ESG0022-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
术语学(原则和协调配合)
发布日期:
2022-05-10
实施日期:
2022-05-31
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用称量法制备瓶装电子工业混合气体的方法.描述了制备原理、规定了制备的策划、制备和检验过程。本文件适用于瓶装电子工业混合气体的单瓶制备和批量制备
研制信息
起草单位:
大连大特气体有限公司、博纯材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开 发有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
起草人:
李福芬、依俊廷、王昭彬、龚施健、王雷、施旖旎、李庆东、柳彤、张净普