GB/T 5295-1985
被代替
T/YGAZXH 1-2024
现行
团体标准
T/YGAZXH 1-2024 铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法
T/YGAZXH 1-2024 The observation and grading method of internal grain patterns on lithium niobate wafers
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/YGAZXH 1-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子元器件与信息技术
国际标准分类名称:
光电子学、激光设备
发布日期:
2024-09-26
实施日期:
2024-11-01
归口单位:
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件描述了采用纹影法对铌酸锂晶圆内部脉理条纹进行观测及分级的方法。本文件适用于铌酸锂晶圆内部脉理条纹的观测及分级
研制信息
起草单位:
江西匀晶光电技术有限公司、济南晶正电子科技有限公司、北京世维通科技股份 有限公司、珠海光库科技股份有限公司、华中科技大学
起草人:
夏宗仁、胡文、王旭阳、吉贵军、孙军强