GB/T 14264-1993
被代替
T/TMAC 371-2026
现行
团体标准
T/TMAC 371-2026 高精度暗场扫描式晶圆缺陷检测设备
T/TMAC 371-2026 High-precision dark field scanning wafer defect detection equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/TMAC 371-2026
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医用电子仪器设备
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
2026-03-30
实施日期:
2026-03-30
归口单位:
中国技术市场协会
适用范围
本文件适用于硅晶圆及化合物半导体晶圆对微米级及亚微米级表面缺陷进行自动化暗场检测的设备。 本文件规定了高精度暗场扫描式晶圆缺陷检测设备的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容
研制信息
起草单位:
昂坤视觉(北京)科技有限公司、北京中研博采技术服务有限公司、北京六只猫创意科技有限公司、北京彬诚科技有限公司、北京骏宇汽车有限公司
起草人:
马铁中、乐志斌、夏卫彬、杨笛、朱军