GB/T 2413-1981
现行
GB/T 43965-2024
现行
国家标准
GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯
GB/T 43965-2024 Electronic grade ethyl orthosilicate
基本信息
标准编号:
GB/T 43965-2024
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
电子技术专用材料
发布日期:
2024-04-25
实施日期:
2024-11-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
20 页
适用范围
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
研制信息
起草单位:
金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
起草人:
孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英
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