GB/T 16786-1997
被代替
T/ICMTIA ESG0021-2022
现行
团体标准
T/ICMTIA ESG0021-2022 高纯气体产品采样通则
T/ICMTIA ESG0021-2022
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA ESG0021-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
术语学(原则和协调配合)
发布日期:
2022-05-10
实施日期:
2022-05-31
归口单位:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了与高纯气体分析相关的采样基本原则，采样方案，采样类型，采样系统设计与安全。本文件适用于压力容器或在线管道中的压缩或液化高纯气体，以及部分高纯混合气体的采样
研制信息
起草单位:
上海正帆科技股份有限公司、唐山三孚硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司
起草人:
李东升、周庆美、蒋玉琳、王春英、周晓咪、王磊、李俊杰、孙建、施旖旎、张蓉、傅铸红、陈艳珊、张长金、纪振红、张广第、张雪刚、朱智敏、赵晓亚