GB/T 15479-1995
现行
T/CEPEA 0102-2024
现行
团体标准
T/CEPEA 0102-2024 真空晶圆搬运机械手技术规范
T/CEPEA 0102-2024 Technical specification for vacuum wafer handling manipulator
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CEPEA 0102-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
矫形外科、骨科器械
国际标准分类名称:
工业自动化系统综合
发布日期:
2025-12-19
实施日期:
2026-01-01
归口单位:
中国电子专用设备工业协会
适用范围
本文件规定了真空晶圆搬运机器人的技术要求、检验规则、检验方法及典型场景的参考性能指标。适用于在真空环境下搬运100 mm～300 mm晶圆的搬运机器人。内容包括术语定义、结构用途分类、技术要求（外观、功能、性能、安全、环境、电磁兼容、可靠性）、检验规则与方法、铭牌与包装、随行文件及典型场景性能指标
研制信息
起草单位:
泓浒（苏州）半导体科技有限公司、电子科技大学、北京中电科电子装备有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司、甬矽电子（宁波）股份有限公司、珠海恒格微电子装备有限公司
起草人:
林坚、王彭、吴军、郭东、黎微明、徐玉鹏、李志强、衣忠波、钟磊、苏云姗
相关标准
GB 16655-1996
被代替
GB 16655-1996 工业自动化系统 集成制造系统安全的基本要求
GB/T 16720.1-1996
被代替
GB/T 16720.1-1996 工业自动化系统 制造报文规范 第一部分：服务定义
GB/T 16720.2-1996
被代替
GB/T 16720.2-1996 工业自动化系统 制造报文规范 第2部分：协议规范
GB/T 16721-1996
被代替
GB/T 16721-1996 工业自动化系统 制造报文规范 协议子集规范
GB/T 16979.1-1997
被代替