DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CI 609-2024
现行
团体标准
T/CI 609-2024 碳化硅衬底研磨抛光工艺技术规范
T/CI 609-2024 Silicon Carbide Substrate Grinding and Polishing Process Specification
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/CI 609-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中国国际科技促进会
适用范围
本文件规定了碳化硅衬底研磨抛光工艺的技术要求、工艺流程、工艺参数、质量控制、检验方法、标志、运输和贮存等。 本文件适用于碳化硅衬底研磨抛光加工。