GB/T 3206-1982
abolished_transferred
T/CSTA 0052-2023
现行
团体标准
T/CSTA 0052-2023 半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒
T/CSTA 0052-2023 Ultra-high purity stainless steel rod for semiconductor manufacturing equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CSTA 0052-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
钢棒和条钢
发布日期:
2023-11-30
实施日期:
2023-11-30
归口单位:
中关村不锈及特种合金新材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒（圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称，以下简称钢棒）的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸（直径、边长、厚度或对边距离，以下简称尺寸）不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒
研制信息
起草单位:
安徽富凯特材有限公司、江苏武进不锈股份有限公司、浦夕特种合金(上海)有限 公司、冶金工业规划研究院
起草人:
徐涛、高虹、范铁军、林立洲、翟丽丽、肖邦国、江庆东、霍咚梅、张丰麟、 吴振忠