GB/T 6595-1986
被代替
T/SHPTA 123-2025
现行
团体标准
T/SHPTA 123-2025 半导体清洗设备用聚四氟乙烯专用料
T/SHPTA 123-2025 Specialty material for polytetrafluoroethylene used in semiconductor cleaning equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SHPTA 123-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
合成树脂、塑料
国际标准分类名称:
热塑性塑料
发布日期:
2025-04-29
实施日期:
2025-05-29
归口单位:
上海市塑料工程技术学会
适用范围
范围:本文件规定了半导体清洗设备用聚四氟乙烯专用料的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存; 主要技术内容:本文件适用于四氟乙烯单体经聚合，烘干后制得的白色粉末状聚四氟乙烯树脂
研制信息
起草单位:
浙江巨圣氟化学有限公司、江西理文化工有限公司、山东美氟科技股份有限公司、英格尔检测技术服务(上海)有限公司、南轩（天津）科技有限公司
起草人:
刘文武、赵俊杰、史元坤、危文琦、陈永春、孟庆文、彭于辉