GB 4962-1985
被代替
T/CHBAS 46-2023
现行
团体标准
T/CHBAS 46-2023 电子工业用气体 六氟乙烷混合气
T/CHBAS 46-2023 Electronics industry gas mixture of hexafluoropropane
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CHBAS 46-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2023-12-22
实施日期:
2023-12-30
归口单位:
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体
研制信息
起草单位:
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司
起草人:
刘波涛、张长金、郑阳光、吴冉冉、马茜茜、陈良、薛贺来、唐中伟