GB/T 38616-2020
现行
GB/T 38614-2020
现行
国家标准
GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
GB/T 38614-2020 Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
基本信息
标准编号:
GB/T 38614-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业自动化仪表与控制装置
国际标准分类名称:
精密机械、珠宝 (词汇)
发布日期:
2020-04-28
实施日期:
2020-11-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)
页数:
15 页
适用范围
本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
研制信息
起草单位:
沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学
起草人:
须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛