GB/T 3143-1982
现行
GB/T 32996-2025
现行
国家标准
GB/T 32996-2025 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
GB/T 32996-2025 Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry
价格:
$ 75.00
基本信息
标准编号:
GB/T 32996-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2025-06-30
实施日期:
2026-01-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
页数:
40 页
适用范围
本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
研制信息
起草单位:
上海市计量测试技术研究院、上海科技大学、中国科学院化学研究所
起草人:
陈永康、徐建、赵志娟、张云艳、张笑旻、郝萍、王帅、周莹、刘芬、吴立敏
替代以下标准
引用标准
ISO 14284
ISO 14707
采用标准
ISO/TS 25138:2025