GB/T 7346-1998
被代替
T/QGCML 4732-2024
现行
团体标准
T/QGCML 4732-2024 晶圆甩干机
T/QGCML 4732-2024 Wafer spin dryer
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 4732-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
旋转电机综合
发布日期:
2024-09-20
实施日期:
2024-10-05
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了晶圆甩干机的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于晶圆甩干机的生产和检验
研制信息
起草单位:
无锡凡华半导体科技有限公司、无锡凡宣机电设备有限公司、宁波至和微电子科技有限公司
起草人:
邵圣、管锋、诸盛强
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