GB/T 3794-1983
废止
SJ/T 11883-2022
现行
行业标准-电子
SJ/T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
SJ/T 11883-2022 The calculation methods for heat balance, thermal efficiency, and comprehensive energy consumption of a diffusion furnace
基本信息
标准编号:
SJ/T 11883-2022
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
能源和热传导工程综合
发布日期:
2022-10-20
实施日期:
2023-01-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
归口单位:
中国电子技术标准化研究院
适用范围
适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件
研制信息
起草单位:
中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所
起草人:
张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜