GB/T 2413-1981
现行
T/CEMIA 030-2022
现行
团体标准
T/CEMIA 030-2022 半导体用正胶显影液
T/CEMIA 030-2022 Positive photoresist developer for semiconductor manufacture
价格:
$ 24.00
基本信息
标准编号:
T/CEMIA 030-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
电子技术专用材料
发布日期:
2022-04-20
实施日期:
2022-07-20
发布单位/组织:
中国电子材料行业协会
归口单位:
中国电子材料行业协会
页数:
16 页
适用范围
本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。
本文件适用于半导体用正胶显影液，其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。
四甲基氢氧化铵的基本信息见附录A中的A.1。
研制信息
起草单位:
杭州格林达电子材料股份有限公司
起草人:
邢攸美、李潇逸、张之钧、赵健、胡涛、李盈盈、陈东良、顾峻、徐文干、孙炜、刘新雨、王琪、周利超、李林佳、余红刚、倪芸岚、陈海刚、杨小平、章帅迪、刘永南、姚艺融、刘为波、翁雪平、傅华、高小云
引用标准
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 601-2002 化学试剂 标准滴定溶液的制备
GB/T 601-2016 化学试剂 标准滴定溶液的制备
GB/T 602-2002 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备
GB/T 603-2002 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T 603-2023 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T 3143-1982 液体化学产品颜色测定法(Hazen单位——铂-钴色号)
GB/T 6680-2003 液体化工产品采样通则
GB/T 8170-1987 数值修约规则
GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 8979-1996 纯氮
GB/T 8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮
GB/T 11446.1-1997 电子级水
GB/T 11446.1-2013 电子级水
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 15603-1995 常用化学危险品贮存通则
GB 15603-2022 危险化学品仓库储存通则
GB/T 34672-2017 化学试剂 离子色谱法测定通则
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GB/T 8979-2025 纯氮、高纯氮和超纯氮
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相关标准
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