GB 4962-1985
被代替
GB/T 15909-1995
被代替
国家标准
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
GB/T 15909-1995 Gas for electronic industry—Silane
基本信息
标准编号:
GB/T 15909-1995
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
1995-12-20
实施日期:
1996-08-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
化学工业部西南化工研究院
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
化学工业部西南化工研究院、浙江大学材料系、中科院半导体研究所
起草人:
余京松、佘中玉
被以下标准替代
引用标准
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