T/GVS 006-2022 现行 团体标准

T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

T/GVS 006-2022 The method for measuring the output deviation stability of semiconductor RF power and microwave power sources

发布日期: 2022-05-27 实施日期: 2022-05-27 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们
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基本信息

标准编号: T/GVS 006-2022
标准类型: 团体标准
标准状态: 现行
is_force_gb: no
中国标准分类名称: 电工
国际标准分类名称: 电工和电子试验
发布日期: 2022-05-27
实施日期: 2022-05-27
归口单位: 广东省真空学会
页数: 16 页

适用范围

范围:本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。 本文件适用于电气工作频率在100 kHz~3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品; 主要技术内容:规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100 kHz~3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品

研制信息

起草单位:

季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学

起草人:

胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球

页数: 16 页

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