GB 4962-1985
被代替
T/CIET 604-2024
现行
团体标准
T/CIET 604-2024 电子特气提纯设计工艺方法
T/CIET 604-2024 Electronic gas purification design process method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIET 604-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2024-08-14
实施日期:
2024-08-14
归口单位:
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。 本文件适用于电子特气提纯设计工艺; 主要技术内容:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。本文件适用于电子特气提纯设计工艺
研制信息
起草单位:
北京化工大学、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、杭州贝斯特气体有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司
起草人:
李群生、李强强、王莉君、赵晓兰、赵洪康、黄英、王乐强、周平、潘佳伟、苏子杰、刘岩、吴永利、汪贤峰、雷晓飞、徐敬铭、包瑾、晨萌