GB/T 5894-1986
被代替
T/ICMTIA CM0035-2023
现行
团体标准
T/ICMTIA CM0035-2023 半导体硅材料制程装置用密封垫片
T/ICMTIA CM0035-2023 Sealing gasket for semiconductor silicon material process equipment
价格:
$ 31.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA CM0035-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
密封件、密封装置
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
研制信息
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