GB/T 6579-1986
被代替
T/CNIA 0143-2022
现行
团体标准
T/CNIA 0143-2022 半导体材料痕量杂质分析用超纯树脂器皿
T/CNIA 0143-2022 Super-pure resin container for trace impurity analysis of semiconductor materials
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0143-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
实验室器皿和有关仪器
发布日期:
2022-02-28
实施日期:
2022-08-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体材料痕量杂质（ng/kg～μg/kg级别）分析用超纯树脂器皿（以下简称器皿）的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容
研制信息
起草单位:
江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、北京诚驿恒仪科技有限公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、集萃新材料研发有限公司、新特能源股份有限公司
起草人:
鲁文锋、胡军波、刘晓霞、刘翠、王桃霞、邱艳梅