GB/T 4863-1985
被代替
T/CSA 092-2024
现行
团体标准
T/CSA 092-2024 MOCVD设备 托盘感应加热系统 技术规范
T/CSA 092-2024
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CSA 092-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电工材料生产设备
国际标准分类名称:
机器、装置、设备的特性和设计
发布日期:
2024-11-21
实施日期:
2024-11-21
归口单位:
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
适用范围
范围:本文件规定了MOCVD设备托盘感应加热系统（以下简称“感应加热系统”）的技术要求和试验方法。 本文件适用于感应加热系统的研发、制备、测试分析及其评价; 主要技术内容:本文件规定了MOCVD设备托盘感应加热系统（以下简称“感应加热系统”）的技术要求和试验方法。本文件适用于感应加热系统的研发、制备、测试分析及其评价
研制信息
起草单位:
中微半导体设备（上海）股份有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室、厦门三安光电有限公司、东莞市志橙半导体材料有限公司、北京大学、晶能光电股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、中国科学院半导体研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国计量大学、广东省东莞市质量监督检测中心
起草人:
李勇志、郭世平、金文彬、姜勇、徐圆圆、余湛、刘建明、朱佰喜、陈兆营、涂逵、陈福鸽、刘强、胡国新、陆文强、李本亮、徐苏楠