GB/T 4855-1984
废止
GB/T 16524-1996
现行
国家标准
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
GB/T 16524-1996 Specification for registration marks for photomasks
基本信息
标准编号:
GB/T 16524-1996
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子工业生产设备
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1996-09-09
实施日期:
1997-05-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
电子工业部标准化研究所
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子中心
起草人:
陈宝钦、陈森锦、陈福山、冯朝斌
引用标准
SJ/T 10152-91
SJ/T 10584-94
采用标准
SEMI P6-88