DZ/T 0101.12-1994
现行
T/ICMTIA 1-2019
现行
团体标准
T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟 气体基础规范
T/ICMTIA 1-2019 Industrial Alliance for Technology Innovation of Integrated Circuit Materials - Gas Basic Specification
价格:
$ 29.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA 1-2019
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。 本标准旨在联盟成员间建立统一、共识的气体管理规范，以确保气体产品质量能够更加稳定、可靠，能够更好的满足集成电路的使用需求。 本标准由联盟成员单位自主发起并起草，发布后行业内自愿采用。