GB/T 16598-1996
被代替
T/ZZB 0093-2016
现行
团体标准
T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材
T/ZZB 0093-2016 High-purity titanium sputtering target for integrated circuits
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZZB 0093-2016
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医用超声、激光、高频仪器设备
国际标准分类名称:
钛产品
发布日期:
2016-09-10
实施日期:
1970-01-01
归口单位:
浙江省质量协会
适用范围
本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。 本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材
研制信息
起草单位:
本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司