T/CNIA 0117-2021 现行 团体标准

T/CNIA 0117-2021 电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法

T/CNIA 0117-2021 Determination of Trace Anion Content in High-purity Hydrogen Fluoride for Use in the Electronic Industry by Ion Chromatography

发布日期: 2021-03-19 实施日期: 2021-09-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们
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基本信息

标准编号: T/CNIA 0117-2021
标准类型: 团体标准
标准状态: 现行
is_force_gb: no
中国标准分类名称: -
国际标准分类名称: 化学分析
发布日期: 2021-03-19
实施日期: 2021-09-01
归口单位: 中国有色金属工业协会

适用范围

主要技术内容:本文件规定了离子色谱法测定电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子(氯化物、硝酸根、磷酸根、硫酸根)的方法。本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定。测定范围:10.000μg/kg~5000.000μg/kg

研制信息

起草单位:

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、青海芯测科技有限公司、英格尔检测技术服务(上海)有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、瑞士万通中国有限公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司

起草人:

薛心禄、杨晓青、李海霞、支云云、王志强、张君峰、张振洋、田润朝、邢成莉、王利平、宋炳信、徐波

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