GB/T 3143-1982
现行
GB/T 32999-2016
现行
国家标准
GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮 廓仪栅网复型法测量溅射速率
GB/T 32999-2016 Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate:mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
基本信息
标准编号:
GB/T 32999-2016
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2016-10-13
实施日期:
2017-09-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
20 页
研制信息
起草单位:
北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心
起草人:
吴正龙、姚文清
采用标准
ISO/TR 22335:2007