GB/T 14390-2008
现行
T/SDAMA 008-2025
现行
团体标准
T/SDAMA 008-2025 碳化硅陶瓷晶舟
T/SDAMA 008-2025 Silicon carbide ceramic crystal boat
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SDAMA 008-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
高级陶瓷
发布日期:
2025-03-17
实施日期:
2025-03-17
归口单位:
山东省新材料产业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟
研制信息
起草单位:
山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东圣诺实业有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、山东依莱特硅业有限公司、山东省新材料产业协会
起草人:
王明峰、王东、石金旺、毕见强、周强、赵佳彬、高惠、李伟强、石威、尹东胜、龚红宇、王伟礼、孙国勋、韩桂芳、郝文虎、崔伟、李补忠、刘爱伟、王克、周健华、王改云