GB/T 4965-1985
现行
GB/T 16880-1997
现行
国家标准
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
GB/T 16880-1997 Guidelines for photomask defect classification and size definition
基本信息
标准编号:
GB/T 16880-1997
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
电子元器件综合
发布日期:
1997-06-20
实施日期:
1998-03-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
电子工业部标准化研究所
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子中心
起草人:
陈宝钦、陈森锦、廖温初
引用标准
SJ/T 10584-94
采用标准
SEMI P22:1993