GB/T 6060.2-1985
被代替
GB/T 33523.603-2022
现行
国家标准
GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性
GB/T 33523.603-2022 Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 603:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
基本信息
标准编号:
GB/T 33523.603-2022
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
表面特征
发布日期:
2022-12-30
实施日期:
2023-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC 240)
页数:
28 页
适用范围
本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
研制信息
起草单位:
清华大学、山东大学、深圳市中图仪器股份有限公司、哈尔滨工业大学、中机生产力促进中心有限公司、中国计量科学研究院、广州计量检测技术研究院、中机研标准技术研究院(北京)有限公司
起草人:
尉昊赟、闫鹏、马俊杰、刘俭、施玉书、代鲲鹏、朱悦
同系列标准
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采用标准
ISO 25178-603:2013