GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 42276-2022
现行
国家标准
GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法
GB/T 42276-2022 Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method
基本信息
标准编号:
GB/T 42276-2022
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2022-12-30
实施日期:
2023-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
7 页
适用范围
本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.050 0 mg/g～0.600 mg/g。
研制信息
起草单位:
新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司
起草人:
银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍