GB/T 2352-1997
被代替
T/QGCML 396-2022
废止
团体标准
T/QGCML 396-2022 线切割后清洗机
T/QGCML 396-2022 Wire cutting cleaner/cutting machine/wire cut cleaning machine
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/QGCML 396-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
流体动力系统综合
发布日期:
2022-10-10
实施日期:
2022-10-25
归口单位:
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验
研制信息
起草单位:
浙江艾科半导体设备有限公司、天通吉成机器技术有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司、竹菱（上海）电子贸易有限公司、科倍氟科技（上海）有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、基恩士（中国）有限公司、三菱电机自动化（中国）有限公司
起草人:
吴昆、许程超、贾泓超、沈飞、黄杰、陈凯、孙文兵、朱振涛、张春雷