GB/T 6495.5-1997
被代替
T/GDCKCJH 125-2026
现行
团体标准
T/GDCKCJH 125-2026 真空等离子表面处理设备及工艺规范
T/GDCKCJH 125-2026 Vacuum plasma surface treatment equipment and process specifications
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/GDCKCJH 125-2026
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
视频、脉冲系统设备
国际标准分类名称:
电池和蓄电池综合
发布日期:
2026-02-06
实施日期:
2026-02-10
归口单位:
广东省测量控制技术与装备应用促进会
适用范围
本文件适用于以真空腔室为处理空间，在5 mTorr～2000 mTorr等低压环境下，通过射频(RF)或中频(MF)电源将工艺气体激发为等离子体，对工件表面进行清洗、活化、刻蚀或表面改性的真空等离子表面处理设备。本文件不适用于大气等离子表面处理设备，仅用于实验研究的真空等离子诊断装置，以高压放电、弧光放电为主的真空处理设备。 本文件规定了真空等离子表面处理设备的分类与型号、技术要求、工艺规范、试验方法、检验规则，以及标志、包装、运输和贮存要求
研制信息
起草单位:
东莞市晟鼎精密仪器有限公司、华南理工大学、广东斯泰克电子科技有限公司、大湾区大学
起草人:
冼健威、薛家祥、欧宁、田艳艳、孙俊、陈洪高、马金虎、张新平、岳行山、侯振健、汤水泉、白力国、龙昌东、杨文敏、黄家福、邓雅伦