GB/T 30040.1-2013
现行
T/CMES 24019-2024
现行
团体标准
T/CMES 24019-2024 超洁净磁悬浮泵
T/CMES 24019-2024 Super clean magnetic suspension pump
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CMES 24019-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
流体存储装置综合
发布日期:
2024-12-30
实施日期:
2025-01-30
归口单位:
中国机械工程学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了超洁净磁悬浮泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等
研制信息
起草单位:
浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、青岛国林半导体技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会
起草人:
胡亮、苏芮、傅新、杨军、张翼飞、方泽华、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、杨江龙、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李松松、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、徐洪魁、李春华、付华
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