T/CAMS 173-2023 现行 团体标准

T/CAMS 173-2023 硅基压阻式压力传感器老炼试验方法

T/CAMS 173-2023 The method for qualifying silicon-based pressure sensors using piezoresistive pressure sensing technology

发布日期: 2023-09-25 实施日期: 2023-11-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务,请 联系我们
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基本信息

标准编号: T/CAMS 173-2023
标准类型: 团体标准
标准状态: 现行
is_force_gb: no
中国标准分类名称: 温度与压力仪表
国际标准分类名称: 力、重力和压力的测量
发布日期: 2023-09-25
实施日期: 2023-11-01
归口单位: 中国机械工业标准化技术协会

适用范围

范围:本文件适用于硅基压阻式压力传感器老炼试验的开展,传感器类型主要包括绝压、表压及差压等; 主要技术内容:本文件规定了硅基压阻式压力传感器老炼试验方法的试验要求、试验条件、试验项目及步骤、故障处理及数据处理及结果分析等内容

研制信息

起草单位:

机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、厦门大学、中电科技集团重庆声光电有限公司、沈阳仪表科学研究院有限公司、长沙飞克电子科技有限公司

起草人:

刘帅、杜晓辉、朱敏杰、刘丹、王凌云、张祖伟、孙克、陈才

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