GB/T 2681-1981
废止
T/YGAZXH 13-2025
现行
团体标准
T/YGAZXH 13-2025 光伏电池工艺设备 原子层沉积镀膜设备技术规范
T/YGAZXH 13-2025 Photovoltaic cell process equipment and atomic layer deposition (ALD) coating equipment technical specifications
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/YGAZXH 13-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
普通诊察器械
国际标准分类名称:
电气工程综合
发布日期:
2025-07-16
实施日期:
2025-08-01
归口单位:
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会
适用范围
本文件给出了原子层沉积镀膜设备的工作环境和工作条件，规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于生产隧穿氧化层钝化接触太阳能电池（TopCon、BC）等电池应用的原子层沉积镀膜设备的制造和检验
研制信息
起草单位:
拉普拉斯新能源科技股份有限公司、扬州大学、深圳大学、拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司、广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会、中标质检标准化技术（深圳）有限公司
起草人:
林佳继、张武、李勃、孟长乐、王芹芹、昌国栋、梁笑、陈思思、陈小丽、许金金