GB 4962-1985
被代替
GB/T 14851-2025
现行
国家标准
GB/T 14851-2025 电子特气 磷化氢
GB/T 14851-2025 Electronic specialty gas—Phosphine
基本信息
标准编号:
GB/T 14851-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2025-03-28
实施日期:
2025-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
12 页
适用范围
本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。
研制信息
起草单位:
西南化工研究设计院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、湖北和远气体股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、浙江省标准化研究院、昊华气体有限公司西南分公司、宿州伊维特新材料有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海飞择科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
起草人:
孙福楠、曾庆腾、李东升、傅铸红、王百林、曹素英、何经余、沙婷、倪珊珊、万娟秀、朱明、王新喜、孙猛、戴玺、徐孝天、方强、孙建、施旖旎、赵趫、郑新权、陈洁、吴靓、方华、李扬、杨康、唐中伟、黄辉、施卫丰、姜阳、李春华、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、赖晓峰、谭依玲、周鹏云、王科、熊壮
替代以下标准
引用标准
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