GB/T 3143-1982
现行
DB35/T 1248-2012
现行
福建省地方标准
DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
DB35/T 1248-2012 Determination of Impurity Content in Gallium Arsenide Gas for Use in Electronic Industry by Gas Chromatography
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
DB35/T 1248-2012
标准类型:
地方标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2012-05-04
实施日期:
2012-08-05
发布单位/组织:
福建省质量技术监督局
归口单位:
福建省化学工业气体标准化技术委员会
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
研制信息
起草单位:
国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）
起草人:
林宇巍、陈熔、陈华、邹震、林永荣、张凤利、陈小娟、叶树海、郑江琳