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SJ/T 10152-1991 废止 行业标准-电子

SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

SJ/T 10152-1991 SJ/T 10152-1991 Main Process Equipment Terminology for Integrated Circuits

发布日期: 1991-04-02 实施日期: 1991-07-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请 联系我们

基本信息

标准编号: SJ/T 10152-1991
标准类型: 行业标准
标准状态: 废止
is_force_gb: no
中国标准分类名称: -
国际标准分类名称: -
发布日期: 1991-04-02
实施日期: 1991-07-01
发布单位/组织: 电子工业部
页数: 67 页

研制信息

起草单位:

起草人:

页数: 67 页

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