GB/T 2413-1981
现行
GB/T 46178-2025
现行
国家标准
GB/T 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛
GB/T 46178-2025 Electronic grade tetrakis(dimethylamide) titanium
价格:
$ 44.00
基本信息
标准编号:
GB/T 46178-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
电子技术专用材料
发布日期:
2025-10-05
实施日期:
2026-05-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
20 页
适用范围
本文件规定了半导体行业用电子级四(二甲氨基)钛的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氮化钛、氧化钛、碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四(二甲氨基)钛。
研制信息
起草单位:
南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、苏州源展材料科技有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、安徽博泰电子材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、南大光电(淄博)有限公司
起草人:
陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、陆平、史泽远、孙明璐、孙鹏、陈鹏宇、宣宗亮、张婷、张健、高周、高朋、鲁铮、郭威、赵俊莎、吴怡然、魏良杰、毛国玉、娄夏冰、王小亮、汪海燕、何晓晨、刘立伟、张汝志、孙丽丽、曹益宁、张宝帅、马得森、王博文、彭元兵、刘能巧、孟庆典、孙建、李雪、姚梦、华淑雅
引用标准
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