GB 4962-1985
被代替
GB/T 38866-2020
现行
国家标准
GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷
GB/T 38866-2020 Dichlorosilane for electronic industry
基本信息
标准编号:
GB/T 38866-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2020-07-21
实施日期:
2021-02-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
13 页
适用范围
本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。
研制信息
起草单位:
湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
起草人:
丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园、王春英、戴帅、谢秋琪、袁乐、傅铸红、禹金龙、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、李威、方艾黎、谭依玲
引用标准
GB/T 11446.1-2013 电子级水
危险化学品安全管理条例(2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布 2011年2月16日国务院第144次常务会议修订通过)
特种设备安全监察条例(2009版 中华人民共和国国务院令第549号)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 602-2002 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 4842-1995 纯氩
GB/T 4842-2006 氩
GB/T 4842-2017 氩
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB/T 8984-2008 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB/T 8984.1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第1部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
GB/T 8984.2-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第2部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定 气相色谱法
GB/T 8984.3-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第3部分：气体中总烃的测定 火焰离子化法
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T 32566-2016 不锈钢焊接气瓶
GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 32566.2-2025 不锈钢焊接气瓶 第2部分：试验压力大于6 MPa的气瓶
GB/T 8984-2025 气体分析 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化气相色谱法
GB/T 28726-2025 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T 32566.1-2026 不锈钢焊接气瓶 第1部分：试验压力小于或等于6 MPa的气瓶
GB/T 602-2026 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备