GB/T 9079-1988
废止
T/CIECCPA 007-2024
现行
团体标准
T/CIECCPA 007-2024 半导体工业氮氧化物排放要求
T/CIECCPA 007-2024 The emission requirements for nitrogen oxides in the semiconductor industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIECCPA 007-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
环境保护
国际标准分类名称:
固定源排放限值
发布日期:
2024-03-04
实施日期:
2024-03-08
归口单位:
中国工业节能与清洁生产协会
页数:
11 页
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求
研制信息
起草单位:
浙江芯科半导体有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、大连华邦化学有限公司、东莞南方半导体科技有限公司、苏州艾特斯环保设备有限公司、上海协和环境设备有限公司
起草人:
李京波、王小周、张梦龙、刘黎明、张瀛、周礼誉、高嵩、杨荣博、钱昊、韩理想、袁松、王琨强、汪禹、邓向辉、阳志超、乔良、周阳、李双、王浩清、张坤